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aHR0cDovL2ZyZWVzaGlwLmNvLmty
Modname = ckeditor
À¯Çü 1: 2 ÀÎÄ¡ ´Ü¸é ±¤Åà À¯Çü 2: 4 ÀÎÄ¡ ´Ü¸é ±¤Åà À¯Çü 3: 6 ÀÎÄ¡ ´Ü¸é ±¤Åà À¯Çü 4: 2 ÀÎÄ¡ ¾ç¸é ¿¬¸¶ À¯Çü 5: 4 ÀÎÄ¡ ¾ç¸é ¿¬¸¶ À¯Çü 6: 6 ÀÎÄ¡ ¾ç¸é ¿¬¸¶ À¯Çü 7: 8 ÀÎÄ¡ ¾ç¸é ¿¬¸¶ À¯Çü 8: 12 ÀÎÄ¡ ¾ç¸é ¿¬¸¶
±¤Åà ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ: °í¼øµµ (11N) 1-12 ÀÎÄ¡ ´ÜÀÏ ¹× ÀÌÁß ¿¬¸¶ Czochralski ´Ü°áÁ¤ ±¤Åà ¿þÀÌÆÛ Å©±â: 1 "2" 3 "4" 5 "6" 8 "12" ¹× Ư¼ö Å©±â ¹× »ç¾ç ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ Ç¥¸é: ´ÜÀÏ Åõô ¿þÀÌÆÛ, ÀÌÁß Åõô ¿þÀÌÆÛ, ¿¬»è ¿þÀÌÆÛ, ºÎ½Ä ¿þÀÌÆÛ, Àý´Ü ¿þÀÌÆÛ °áÁ¤ ¹æÇâ: <100> \ <111>\ <110>\ <211>\ <511> ¹× ´Ù¾çÇÑ Ã³Áü °¢µµ¸¦ °®´Â ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ µÎ²²: 100um 200um 300um 400um 500um 1mm 5mm ¹× ±âŸ ´Ù¾çÇÑ µÎ²², µÎ²² Çã¿ë ¿ÀÂ÷ +-10um, TTV <10um ¶Ç´Â °í°´ ¿ä±¸ »çÇ׿¡ µû¶ó °ÅÄ¥±â <0.2nm Àüµµµµ À¯Çü: N-À¯Çü, P-À¯Çü, dope (³»ÀçÀû ÀÎ °í ÀúÇ×) ´Ü°áÁ¤ ¹æ¹ý: Czochralski (CZ), ±¸¿ª ¿ëÀ¶ (FZ), NTD (Áß°£ »çÁø) ÀúÇ×: <0.001 ohm±îÁö ¹«°Å¿î µµÇÎ. cm, ³·Àº µµÇÎ ±âÁ¸ 1 ~ 10 ohm.com, ±âÁ¸ 500 ~ 800ohm ¿¡ µû¸¥ ¸Åü. cm, ±¸¿ª ¿ëÀ¶ Ư¼º:> 1000 ¿È. cm, >3000 ¿È. cm,> 5000 ¿È. cm,>8000 ¿È. cm,>10000 ¿È. cm °øÁ¤ ¸Å°³ º¯¼ö: Æòźµµ TIR: ¡Â 3¥ìm, ¿Ö°î TTV: ¡Â 10¥ìm, È°/¿ÍÇÁ ¡Â 40¥ìm, °ÅÄ¥±â ¡Â 0.5nm, ÀÔÀÚ Å©±â <¡Â 10ea @> 0.3¥ì) Æ÷Àå ¹æ¹ý: ¿ïÆ®¶ó Ŭ¸° ¾Ë·ç¹Ì´½ È£ÀÏ Áø°ø Æ÷Àå 10 Àå Æ÷Àå, 25 Àå Æ÷Àå ¸ÂÃãÇü ó¸®: ¸ðµ¨ÀÇ Ã³¸® ½Ã°£, °áÁ¤ ¹æÇâ, µÎ²², ÀúÇ× µîÀÌ »ç¾ç¿¡ µû¶ó ¾à°£ ´Ù¸¨´Ï´Ù. ÀÀ¿ë ¼Ò°³: ½ÌÅ©·ÎÆ®·Ð ¹æ»ç¼± »ùÇà ij¸®¾î, ±âÆÇÀ¸·Î¼ÀÇ PVD/CVD ÄÚÆÃ, ¸¶±×³×Æ®·Ð ½ºÆÛÅ͸µ ¼ºÀå »ùÇÃ, XRD, SEM, ¿øÀÚ Èû, Àû¿Ü¼± ºÐ±¤ÇÐ, Çü±¤ ºÐ±¤ÇÐ ¹× ±âŸ ºÐ¼® ½ÃÇè ±âÁú, ºÐÀÚ ºö epitaxial ¼ºÀå ±âÁú, °áÁ¤ ¼º ¹ÝµµÃ¼ÀÇ X ¼± ºÐ¼®
½Ç¸®ÄÜ »êȹ° ¿þÀÌÆÛ: ¿ »êȹ°ÀÇ Ç¥¸é »ó¿¡ ÀÌ»êÈ ±Ô¼Ò ÃþÀÌ Çü¼ºµÈ´Ù. »ó½Â µÈ ¿Âµµ¿¡¼ »êÈÁ¦°¡ Á¸ÀçÇϸéÀÌ °úÁ¤À» ¿ »êȶó°íÇÕ´Ï´Ù. ¿ »êȹ° ÃþÀº ÀϹÝÀûÀ¸·Î ¼öÆò Æ©ºê Æ۴Ͻº¿¡¼ Àç¹èµË´Ï´Ù. ¿Âµµ ¹üÀ§´Â ½À½Ä ¶Ç´Â °Ç½Ä ¼ºÀå ¹æ¹ýÀ» »ç¿ëÇÏ¿© ¼·¾¾ 900 ~ 1200 µµ¿¡¼ Á¶ÀýµË´Ï´Ù. ¿ »êȹ°Àº ¼ºÀåÇÏ´Â »êȹ° ÃþÀÔ´Ï´Ù. CVD ¹æ¹ý¿¡ ÀÇÇØ ÁõÂø µÈ »êȹ°°ú ºñ±³ÇÏ¿©, ´õ ³ôÀº ±ÕÀÏ ¼º ¹× ³ôÀº À¯Àüü °µµ¸¦ °®´Â´Ù. ÀÌ°ÍÀº Àý¿¬Ã¼·Î¼ ÁÁÀº À¯Àüü ÃþÀÔ´Ï´Ù. ´ëºÎºÐÀÇ ½Ç¸®ÄÜ ±â¹Ý ÀåÄ¡¿¡¼ ¿ »êȹ° ÃþÀº ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛÀÇ Ç¥¸éÀ» Æí¾ÈÇÏ°ÔÇÏ´Â µ¥ ¸Å¿ì Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ»ÇÕ´Ï´Ù. µµÇÎ ¹× Ç¥¸é À¯Àüü¸¦À§ÇÑ À庮. Àû¿ë ¹üÀ§: 1. ¿¡Äª ¼Óµµ ÃøÁ¤ 2. ±Ý¼Ó ¿ÍÀÌ¾î º»µù Å×½ºÆ® 3. ±Ý¼Ó ¿þÀÌÆÛ 4. Àü±â Àý¿¬ Ãþ ´Ü¸é ¿¬¸¶ + ¾ç¸é »êÈ: 50nm 100nm 200nm 285nm 300nm 500nm 1000nm 2000nm ´Ü¸é ¿¬¸¶ + ´Ü¸é »êÈ: 100nm 200nm 285nm 300nm500nm 1000nm 2000nm ¾ç¸é ¿¬¸¶ + ¾ç¸é »êÈ: 100nm 200nm 300nm 500nm 1000nm2000nm ´Ü¸é ¿¬¸¶ + ´Ü¸é »êÈ, ¾ç¸é ¿¬¸¶ + ´Ü¸é »êÈ, °íÀ¯ ½Ç¸®ÄÜ »êȹ° ¿þÀÌÆÛ, ÃʹÚÇü ¹× ÃʹÚÇü ½Ç¸®ÄÜ »êȹ° ¿þÀÌÆÛ¸¦ »ç¿ëÀÚ Á¤ÀÇ ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ´Ù¾çÇÑ Æ¯¼ö µÎ²²/´Ù¾çÇÑ ÀúÇ× ¹× °áÁ¤ ¹æÇâÀ» »ç¿ëÀÚ Á¤ÀÇÇÏ°í ó¸® ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ´Ü¸é ¹× ¾ç¸é »êÈ, ±âÆÇ ¹× »êȹ° ÃþÀÇ µÎ²²°¡ ´Ù¸£¸ç, °¡°ÝÀÌ ´Ù¸¨´Ï´Ù. ¿ì¸® ȸ»ç´Â ¿ì¼öÇÑ Ç°Áú·Î °í°´À»À§ÇÑ ´Ù¾çÇÑ ¸Å°³ º¯¼ö·Î ÀÌ»êÈ ±Ô¼Ò Ç÷¹ÀÌÅ©¸¦ »ç¿ëÀÚ Á¤ÀÇ ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. »êȹ° Ãþ µÎ²², ¼ÒÇüÈ, ±ÕÀÏ ¼º ¹× ÀúÇ× °áÁ¤ ¹æÇâ ¹× ±âŸ ¸Å°³ º¯¼ö´Â ±¹°¡ Ç¥ÁØ¿¡ µû¶ó ±¸ÇöµË´Ï´Ù.
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